专用的空气调节系统，主要通过处理空气并控制送风参数，以维持室内温度、湿度、风速、压力及洁净度，广泛应用于微电子制造、
。该系统由空气处理设备（如过滤器、加热器）、输送设备及冷热源系统构成，核心功能在于消除外部污染与热湿干扰
根据洁净室分布与需求差异，系统分为集中式、分散式与半集中式三种类型：集中式通过机房统一处理空气后输送至各洁净室，适用于大面积连续生产；分散式在各洁净室独立设置净化机组，灵活性较高；半集中式结合两者特点，可分区控制洁净度。随着技术发展，末端装置逐步改进，如兼具净化与热湿处理能力的设备可实现参数独立调节，混合式系统因兼顾经济性与卫生要求成为主流
。节能技术的应用也推动系统优化，包括风机变频调节、新风量动态控制和废热回收等
2. 分散式洁净空调系统：在系统内各个洁净室单独设置净化设备或净化空调设备。
3. 半集中式洁净空调系统：在这种系统中，既有集中的净化空调机房，又有分散在各洁净室内的空气处理设备。是一种集中处理和局部处理相结合的形式。
来命名系统，如称之为100级净化空调系统，1000级净化空调系统等。有时也按系统的末级过滤器的性质来区分，分为高效空气净化系统、亚高效空气净化系统和中效空气净化系统。
1. 直流式：系统所处理的空气全部来自室外，处理后送入室内，然后又全部排出室外。该系统方式冷、热量消耗最大，工程投资和运行费用较高，当洁净室内散发大量的
2. 封闭式：该系统所处理的空气全部来自空调房间本身，循环往复。当洁净室内无人长期逗留，仅仅为存放或为保证
的特殊场合，可以采用封闭式系统。封闭式系统没有室外新风，系统消耗冷、热量最少，但卫生条件最差。
3. 混合式：该系统不仅吸取一部分室外新风，而且还利用一部分回风，根据回风形式，有
单一，洁净室分散，不能或不宜合为一个系统，或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合，应采用分散式洁净空调系统，在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起，自成系统。在分散式洁净空调系统中，在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。 净化空调设备可以是一个定型机组产品，它具有净化功能，但处理的风量较少，往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量，系统
由于净化空调设备内风机要求克服热交换盘管、通道及几级过滤器的阻力，所需压力很高。为了安装于设备内，体积不可能很大；如采用较高转数来达到所需压力，噪声震动又较大。国内设备状况，这类机组发展较慢。众所周知，洁净室内除了一些必要设备外，尽可能把设备设置在室外，加上人员人数严格控制等，洁净室的热
通常比普通空调室小，但需风量却比一般空调室大，这就从另一个角度限制了净化空调设备的使用范围。为了解决这一题，分散式净化空调系统中，可以将风机一过滤器单元等
放在洁净室内，或设置于邻室、套间，顶棚内等处而与洁净室相联。或利用邻室、套间，顶棚等作
，以作混风和空调处理用。它的处理过程可看作二次回风。 空调机组实际上是一个小型空调系统，它的冷源通常采用压缩式
）、电加湿器和电加热器。如果是容量小的空调机组（冷量小于7kW，风量小于1200m
上述这种将空调和净化两种功能分开处理的做法，不仅解决洁净室热湿负荷小、处理风量大的难题，而且使系统更为灵活。由于利用套间或顶棚作
，使空气环路断面大-输送路线短，对空调机组和净化设备的风机压头要求不高，因此相应噪声与能耗也不高．净化设备也可适应洁净室需要，采用多种形式，与空调机组几乎没有关联，这种形式在中国应用很广泛。但是这种系统的新凤往往只是靠套间或顶棚等产生负压而渗透进来，不能
，无法满足室内卫生要求。洁净空间内可通过送风量差值控制来建立正压，但在套间中的负压并不一定使室外新风通过新风过滤器进入套间，往往透过其他途径（从走廊及窗等）渗入，套间内浓度很不稳定．这样不仅会影响过滤器使用期，而且也可能涉及到洁净空间内的洁净度，这是一个易被人忽视的问题。像上海城市建设学院的多功能
，就在套间中增设了亚高效新风净化机组。由于它配有可调风量风机，不仅可使套间内保持正压，稳定套间内空气浓度；而且保证了洁净空间内新风补给。 某些场合也可以用中效新风净化机组。
分散式净化空调系统的最大特点就是灵活、简易。它可满足不同房间的不同送风要求。当室内热
变化时，调节系统反应快，也不影响其他各室进风参数，洁净空间小而单一，管理比较方便，洁净度也易保证。加上没有输送管系及专用机房，节约了输送能耗及沿途冷热损失和污染，减少了辅助占地面积。另外
半集中式洁净空调系统是一种把空气集中处理和局部处理结合的系统形式，它既有像分散式系统那样，各洁净室能就地回风而避免往返输送，又有像
那样按需要供给各洁净室经空调处理到一定状态的新风，有利于洁净空气参数的控制。随着生产工艺的发展，人们对洁净室要求也不同了。人们希望在一个洁净室内实现不同洁净度分区控制。因此，出现了半集中式洁净空调系统，半集中洁净式空调系统主要有两种使用形式：
当洁净室为下列情况时，可考虑采用具有热、湿处理能力的末端装置的半集中式洁净空调系统。
由于室内机组具有热、湿处理能力，室内温度、湿度可根据要求调节机组（即末端装置）。例如，在医院中使用该系统，可以避免各
具有单纯净化作用的末端装置系统，在半集中洁净空调系统中应用最多。大多数改建工程都采用这种形式。当对原有普通空调系统进行净化改造时，在原空调系统内增设
、在各室送风口增设过滤器，或更换原系统过滤器等，这样就形成了单纯净化作用的末端装置系统。末端装置在室内起自循环、自净化作用，对室内
是一种辅助手段。当调节末端装置的风量或改变开启末端装置台数时，可使室内实现不同的洁净度。
。节能技术的应用推动系统优化，涉及风机变频调节、新风量动态控制和废热回收等方面